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多晶硅淀积炉

发布于2019-02-21 有1021人阅读

扩散炉管在规定要求的温度和真空条件下，往炉管内通入SIH4气体使其裂解成多晶硅附着在硅片表面上，同时掺入磷源达到我们所需要的电阻率。

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